Дано огляд сучасного стану нанотехнологiй та наноелектронiки. Викладаються результати дослiджень поверхнi; кластерiв атомiв i кластерiв вакансiй; кiнетичних властивостей низькорозмiрних систем i кластерної плазми; процесiв розсiювання i локалiзацiї позитронiв у металах, рiдинах i кластерах. Послiдовно описанi деформацiйна i температурна залежностi роботи виходу електронiв. Розглянуто оптичнi i магнiтнi властивостi наноплiвок та нанокомпозитiв. Описано кулонiвськi та квантовi ефекти в одноелектронних транзисторах на кластерних структурах. Наведено чимало прикладiв використання маловимiрних структур.

Розглянуто елементарні наукові засади та напрями розвиткутвердотільної інтегральної електроніки (мікроелектроніки), фізичніоснови нового напряму – наноелектроніки, що охоплює нову науково-технічну галузь – магнітоелектроніку (спінтроніку), а також численнібіологічні й технологічні аспекти нанотехнологій. Посібник підготовлено на основі багаторічного досвіду читаннялекцій з курсу та з використанням оригінальних публікацій авторів угалузі застосування діелектричних матеріалів у мікроелектроніці.Для студентів вищих навчальних закладів технічних і фізичнихспеціальностей у галузях електроніки, мікроелектроніки тананотехнологій.